三次元形状測定機 「Opt-scope」|ACCRETECH-東京精密
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株式会社東京精密
2021-01-29
白色干渉の原理を用いて、非接触かつ短時間でワーク形状の 面全体を三次元(3D)的に測定・解析できる形状測定機 Opt-scope(オプト スコープ/白色干渉顕微鏡)。ベアリング等の摺動面(高研磨面)の三次元粗さ・傷・磨耗の解析から、 砥石や超硬チップの刃先の形状評価、半導体ウェーハの表面欠損検出まで、多様なアプリケーションに対応します。
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